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二所牵头肩负的国家重点研发妄想“超薄界面异质异构晶圆键合要害手艺与装备”重点项目正式启动
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4月9日,由2所牵头的国家重点研发妄想“超薄界面异质异构晶圆键合要害手艺与装备”项目启动会暨项目实验计划论证聚会在太原召开。国家南宫NG28部高手艺研究生长中心研究员刘进久远程指导聚会,山西省南宫NG28厅智能处副处长索静、2所副所长赵付凌驾席聚会。
会上,专家组听取了项目组计划汇报,对实验计划举行了审查,以为项目研究目的明确、研究内容周全、课题设置合理、实验蹊径明确、研究包管条件有力,对高端装备与先进制造领域国家质量基础系统研究具有主要支持作用。专家组还对项目实验计划体例、项目整体推进、项目效果提出了详细要求。
刘进长强调,项目研究与执行中要充分团结工业制造领域智能化生长的实践需求,争取“十四五”时期能够形成系统化、标记性的立异研究效果,并对项目组及肩负单位提出要求,希望各单位提高站位,强化法人责任制,项目组做好实验计划,优化项目治理。
赵付超对参会专家及用户代表的支持体现谢谢,指出该项目针对通讯、新能源等领域对新一代半导体器件迫切需求,旨在突破集成电路焦点高端装备上面临的手艺难、本钱高等“卡脖子”问题,2所作为牵头单位,将严酷凭证相关划定切实推行责任,增强项目治理,全力包管项目顺遂实验。
中国电科2所、13所、55所、清华大学、东南大学、西安交通大学、大连理工大学、武汉理工大学、长春光机所、维普光电公司等项目参研单位的20余位代表加入此次聚会。